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260mm透明石英玻璃管材通過部級鑒定

 



由中國建築材料聯合會科技教育委員會、清華大學、石英管中 國電子材料行業協會、中國建築玻璃與工業玻璃協會、中國建築材料科學研究總院、中國建築材料檢驗認證中心等單位的9名專家組成的鑒定小組,對省提出的“半 導體產業用直徑260毫米透明石英玻璃管材研制與應用”組織了項目鑒定會。在鑒定會上,專家們通過參觀生產現場、閱讀申報資料、聽取研究報告和查新資料、 專家質疑、申報單位答辯等多個環節後,專家鑒定小組一致通過了部級新產品和其科技成果的鑒定。

與會專家通過對生產現場的考察和會議討論,一致認為東海縣對用連熔工藝制備直徑200—260毫米大規格石英玻璃管核心技術及其設備的優化設計,開展了大量研發工作,攻克了一系列的關鍵技術。

其成果的突出創新點是:1、在石英原料的提純加工技術上,采用了四組化學浮選法,提純後的石英原料純度達到99。99%,13種雜質元素總含量小於20ppm陶瓷;2、在大尺寸直徑540毫米鎢坩鍋和成形器的結構優化設計與石英匹配技術以及物料、氣控、水控、電控系統的均衡上創新了優化配置技術;3、直徑200—260毫米高質量透明石英管材具有規格尺寸大、純度和精度高、質量一致性好等特點,填補了國內同類產品的空白,產品的主要技術性能指標達到了國際同類產品先進水平。

集成電路作為信息產業的基礎和高新技術產業的重中之重,半導體產業是國家信息產業科技發展“十一五”規劃和“2020年中長期規劃綱要”的重點發展領域。 大規格石英玻璃管材已成為半導體產業發展不可缺少的重要產品之一。目前國內集成電路產業需求大規格石英玻璃管材,大部分從美國進口。而此次通過鑒定的半導 體產業用透明石英玻璃擴散管材產品,攻克了連熔爐拉制外徑大於260毫米以上大規格石英玻璃管材的石英舟難題,特別在連熔爐關鍵技術裝備的集成創新上,掌握了生產大規格石英玻璃管的成套技術,充分體現了企業的自主創新能力和水平。

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